產品特點
1、優(yōu)化參數后，可獲得能量單一的離子束
2、離子束流及離子能量連續(xù)精確可調
3、離子能量可調節(jié)范圍廣、應用范圍廣
4、相比等離子體源及無柵離子源，可獲得更高的離子量
5、通過不同柵網的選擇，可獲得準直或大面積發(fā)散離束
