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考夫曼離子源

應(yīng)用范圍離子源口徑:中17cm可調(diào)仰角:20(基座自帶刻度指針)離子?xùn)|能量:100-1000eV連續(xù)可調(diào)最大離子束流:500mA束能量均勻區(qū):2中900mm(距源出口900mm處)束能量不均勻性:≤10%(距源出口900mm處)工作氣體:氬氣(Ar)、氧氣(0)工作氣壓參考范圍:0.5-2.0x10-2Pa(推薦0.8-1.5x10-2P…

產(chǎn)品規(guī)格

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產(chǎn)品概述

應(yīng)用范圍

離子源口徑:中17cm

可調(diào)仰角:±20°(基座自帶刻度指針)

離子?xùn)|能量:100-1000eV連續(xù)可調(diào)

最大離子束流:500mA

束能量均勻區(qū):2中900mm(距源出口900mm處)

束能量不均勻性:≤±10%(距源出口900mm處)

工作氣體:氬氣(Ar)、氧氣(0)

工作氣壓參考范圍:0.5-2.0x10-2Pa(推薦0.8-1.5x10-2Pa)

安裝方式:內(nèi)裝

尺寸:251mmx309.5mm

服務(wù)熱線：
028-80270885
Email:
812635285@qq.com
地址：
四川省成都市龍泉驛區(qū)大連路38號(hào)勞士領(lǐng)工業(yè)區(qū)2號(hào)樓天一國(guó)泰
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